PCB電路板用plasma等離子處理表面多晶硅可去除微觀膠體

• 分類：公司動態
• 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
• 來源：plasma設備
• 發布時間：2022-12-28
• 訪問量：

【概要描述】PCB電路板用plasma等離子處理表面多晶硅可去除微觀膠體： ? ? ? ? 隨著半導體工藝技術的飛速發展，濕法蝕刻技術由于其固有的局限性已逐漸限制了其發展，已不能滿足VLSI微米甚至納米線材的加工要求。等離子蝕刻清洗設備多晶硅片清洗設備干法蝕刻法由于其產生的離子密度高，蝕刻均勻，蝕刻側壁垂直度大，表面光潔度高，能清除表面雜質，在半導體加工工藝中漸漸得到了廣泛的應用。等離子表面處理機除膠，除膠氣體為氧氣。本發明通過將電路板放置于真空反應系統中，通入少量的氧氣，加上高頻高壓，由高頻信號發生器產生高頻信號，在石英管中形成強大的電磁場，使氧離子化，使氧離子、氧原子、氧分子、電子等混合物質形成輝光柱?；钚栽討B氧能迅速將殘余膠體氧化為揮發性氣體，并使之揮發而被帶走。 ? ? ? ?隨著現代半導體技術的發展，對蝕刻加工的要求越來越高，多晶硅片等離子蝕刻清洗設備也應運而生。產品穩定性是保證產品生產過程穩定，重復性的關鍵因素之一。CRF-plasma等離子處理表面是一種多功能等離子體表面處理設備，通過配置不同的組件，使其具備了鍍層(涂層)、腐蝕、等離子化學反應和粉末等離子體處理等多種功能。在清除了電路板上的殘留物之后，將電路板清理干凈。電路板等離子表面處理機除膠操作簡單，除膠效率高，表面干凈光潔，無劃痕，成本低，環保。 ? ? ? ?通過等離子清洗機/刻蝕機對多晶硅片有很好的蝕刻效果。本實用新型通過配置刻蝕組件，可以使CRF-plasma等離子處理表面實現刻蝕功能，性價比高，操作簡單，從而達到多功能的效果。電漿表面處理機去膠加工是微細加工中的一個重要環節，電子束曝光、紫外曝光等微細納米加工后，都需要對光刻膠進行去膠或打底膜處理。除去光刻膠的潔凈度對樣品是否有損傷等問題，將直接影響后續工藝的順利實施。